“目前，干法刻蚀工艺主要是离子铣刻蚀、等离子刻蚀和反应离子刻蚀三种方案。”
“而这三种方案，离子铣刻蚀最为简单，可控性也比较高，技术成熟度也很高，相关的专利其实也已经被申请的差不多了，想要弯道超车，避开西方的专利壁垒，这个方案非常的难。”
“除此之外，这个方案也有技术本身的缺点，那就是刻
《重生的我只想当学霸》第231章 野心初现，和国际顶尖的差距 正在手打中，请稍等片刻，
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“而这三种方案，离子铣刻蚀最为简单，可控性也比较高，技术成熟度也很高，相关的专利其实也已经被申请的差不多了，想要弯道超车，避开西方的专利壁垒，这个方案非常的难。”
“除此之外，这个方案也有技术本身的缺点，那就是刻
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